大型液態(tài)二氧化碳杜瓦罐抽真空系統(tǒng)，將若干只低溫絕熱鋼瓶放置在烘箱內(nèi)進(jìn)行烘烤加熱抽真空，所有鋼瓶的真空口用高真空推拉閥和波紋管連接，機(jī)組采用雙極旋片泵預(yù)抽，羅茨泵加速，用擴(kuò)散泵或者分子泵精抽，整個(gè)抽真空工藝2-3天完成，真空泵的測量規(guī)管和機(jī)組由業(yè)主自由選配，最終主管路極限真空度優(yōu)于：7×10-5Pa。 杜瓦罐抽真空簡要配置表 一、雙級旋片式真空泵 每秒抽氣速率30升（70升） 極限真空為6×10-2Pa 30升的功率為3KW（70升功率5.5KW） 二、電磁真空帶充氣閥 三、羅茨真空泵 極限真空為5×10-2Pa 速率每秒150升的功率為3KW 速率每秒300升的功率為5.5KW。 四、擴(kuò)散真空泵 擴(kuò)散泵的極限真空是7×10-5Pa 口徑150mm的功率是1.5KW。 五、電阻規(guī) 電阻規(guī)為測量低真空的測量探頭 六、電離規(guī) 電離規(guī)為測量高真空的測量探頭 七、杜瓦罐烘箱 自動(dòng)溫控0~400度可調(diào) 復(fù)合數(shù)顯真空儀表 烘箱功率6KW